一、薄膜電路工藝
采用通過磁控濺射,圖形化光刻,干法濕法蝕刻,電鍍加厚工藝,在陶瓷基板上制作出超細(xì)線條電路圖形。
在薄膜工藝中,基于薄膜電路工藝,通過磁控濺射實(shí)現(xiàn)陶瓷表面金屬化,通過電鍍實(shí)現(xiàn)銅層和金成的厚度大于10微米以上。即DPC( Direct Plate Copper-直接鍍銅基板)。
二、厚膜電路工藝
1、HTCC(High-Temperature Co-fired Ceramic)
2、LTCC(Low-Temperature Co-fired Ceramic)
3、DBC(Direct Bonded Copper)
PCB廠陶瓷基板制作工藝中的相關(guān)技術(shù):